德國(guó)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

INFICON, RGA為您提供標(biāo)準(zhǔn)的和高性能的殘余氣體分析儀來滿足您真空應(yīng)用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工業(yè)的數(shù)據(jù)收集速率, *小的可檢分壓(MDPP) 和訊噪比. 加上低的總體擁有成本和高的平均時(shí)間(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 幫助您的收益底線遠(yuǎn)超過市場(chǎng)上其它RGA系列產(chǎn)品.

1、TRANSPECTOR MPS–氣體分析的標(biāo)準(zhǔn)

Transpector MPS 設(shè)計(jì)用于要求具有驗(yàn)證的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空應(yīng)用中的 RGA 分析. 質(zhì)量范圍100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供標(biāo)準(zhǔn)的監(jiān)測(cè)性能. RGA 的標(biāo)準(zhǔn)裝備是法拉第杯檢測(cè)器,當(dāng)需要監(jiān)測(cè)低濃度氣體時(shí), 可選用電子倍增器檢測(cè)器.

2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的應(yīng)用

Transpector MPH 設(shè)計(jì)用于要求 RGA 具有*高監(jiān)測(cè)性能的應(yīng)用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三種不同的質(zhì)量范圍, 具有工業(yè)上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可裝備法拉第杯或電子倍增器檢測(cè)器, 以及提供可選的校準(zhǔn)氣體, 用于簡(jiǎn)易和RGA 質(zhì)量標(biāo)度自動(dòng)調(diào)諧的校準(zhǔn)參考.

3、傳感器設(shè)計(jì)用于工業(yè)的MBTF和低的總體擁有成本

綜合地采納客戶的反饋和深入的市場(chǎng)分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的離子源. 新型離子源在陽及, 陰及和反射及的組裝件中包含兩根燈絲. 帶有備用燈絲的雙燈絲結(jié)構(gòu)可延長(zhǎng) RGA 的運(yùn)行周期和避免出現(xiàn)意外的系統(tǒng)停機(jī)故障. Transpector MPH 還提供特定應(yīng)用的燈絲選擇(鎢燈絲用于含鹵素的過程中或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程中) 確保過程本身不會(huì)影響燈絲的使用壽命.

在一般真空應(yīng)用中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的銥燈絲.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件等同于傳統(tǒng) RGAs 中更換整個(gè)離子源. 成本的節(jié)約將大大地降低這兩種 RGAs 的總體擁有成本.

新型傳感器結(jié)構(gòu)提供更多的, 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器 (如裝備). 您可在定期的維護(hù)周期中快速地現(xiàn)場(chǎng)更換 EM. 新型倍增器已發(fā)展為具有更長(zhǎng)使用壽命, 提供更高的法拉第杯(FC) 靈敏度和更強(qiáng)的增益.

4、可定標(biāo)的通訊方法用于現(xiàn)代化的制造*心

Transpector MPS 和 MPH 采用以太網(wǎng)作為 RGA 與計(jì)算機(jī)之間默認(rèn)的通訊手段. 對(duì)于單傳感器運(yùn)行, 可將傳感器連接至現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或直接連接任何計(jì)算機(jī)上的以太網(wǎng)端口. 采用現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或用可選的路由器或以太網(wǎng)開關(guān), 可實(shí)行多傳感器運(yùn)行.

5、滿足您需要的軟件

Transpector MPH 與得獎(jiǎng)的 FabGuard 程序套件是兼容的, 包括與 FabGuard 工藝集成監(jiān)測(cè)軟件和FabGuard Explorer 檢測(cè)軟件.

為易于運(yùn)行, Transpector MPS 設(shè)計(jì)于使用FabGuard Explorer 軟件. 兩種 RGAs 均配備機(jī)載的網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器,它允許從連接網(wǎng)絡(luò)的任何設(shè)備, 無軟件運(yùn)行您的 Transpector MPS 或 MPH. 這個(gè)網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器不僅是可查閱標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的單個(gè)程序. 而是允許用于您預(yù)期的全部手動(dòng)數(shù)據(jù)查閱技術(shù), 包含檢漏和傳感器調(diào)諧等標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)功能的網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器.

德國(guó)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù)：

*用一個(gè)基線噪聲的標(biāo)準(zhǔn)偏差除以氮的靈敏度計(jì)算的.

**與分壓強(qiáng)測(cè)量無關(guān),用于連續(xù)的燈絲保護(hù)和分析.